特許

J-GLOBAL ID：200903062833012640

インゴットの切断方法

発明者： 初田 良太 ,  片野 卓
出願人/特許権者： エム・イー・エム・シー株式会社
代理人 (1件)： 渡邉 一平 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-086737
公開番号（公開出願番号）：特開2002-283340
出願日： 2001年03月26日
公開日（公表日）： 2002年10月03日
要約：

【要約】【課題】 ウェハの大口径に伴い顕在化してきた切断時のウェハ自身の振動によるウェハ割れを防止し、ウェハの収率を所望とする水準以上に保持することにより、より経済的なインゴットの切断方法の提供。【解決手段】 インゴット1の璧開面3を、ワイヤーソーを構成するワイヤー列5により形成される面に対して非平行となるようにインゴット1を切断装置の固定手段に固定し、切断することにより達成。

請求項（抜粋）：

インゴットの切断方法において、ワイヤーソーのワイヤー列によって形成される面とインゴットの璧開面が非平行になるようにインゴットを固定してインゴットを切断することを特徴とする切断方法。

IPC (3件)：

B28D 5/04 ,  B24B 27/06 ,  H01L 21/304 611

FI (3件)：

B28D 5/04 C ,  B24B 27/06 D ,  H01L 21/304 611 W

Fターム (15件)：

3C058AB03 ,  3C058AB04 ,  3C058BA02 ,  3C058BA07 ,  3C058CA01 ,  3C058CB02 ,  3C058CB03 ,  3C058CB05 ,  3C058DA03 ,  3C069AA01 ,  3C069BA06 ,  3C069BB03 ,  3C069CA04 ,  3C069EA02 ,  3C069EA05