特許
J-GLOBAL ID：200903062833299256
半導体露光装置、半導体製造装置および半導体製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 哲也 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-160702
公開番号（公開出願番号）：特開平10-335244
出願日： 1997年06月04日
公開日（公表日）： 1998年12月18日
要約：
【要約】【課題】 装置の動作に支障なく時刻合せあるいはこれと同等の効果を得る。【解決手段】 装置の時刻に基づいて装置の動作を制御する制御手段を備えた半導体露光装置(202-1、202-2)において、前記制御手段は、ホストコンピュータ(201)におけるある時点での時刻が与えられた時、その与えられた時刻およびその時の装置側時刻のデータ、あるいはこれらに対応するデータを記憶し、前記制御手段は、装置の動作に支障のないときに、前記記憶データに基づいて前記装置の時刻をホストコンピュータの時刻に時刻合せする。また、前記ある時点での時刻が与えられた後、必要に応じて、前記記憶データに基いて得られる前記ホストコンピュータの時刻を用いる。
請求項（抜粋）：
装置の時刻に基づいて装置の動作を制御する制御手段を備えた半導体露光装置において、前記制御手段は、ホストコンピュータにおけるある時点での時刻が与えられた時、その与えられた時刻およびその時の装置側時刻のデータ、あるいはこれらに対応するデータを記憶するものであることを特徴とする半導体露光装置。
FI (2件)：
H01L 21/30 502 Z
, H01L 21/30 514 Z
