特許

J-GLOBAL ID：200903062834458560

ガスセンサ

発明者： 内田 光宣 ,  緒方 逸平 ,  牧野 太輔
出願人/特許権者： 株式会社日本自動車部品総合研究所
代理人 (1件)： 青木 朗 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-113461
公開番号（公開出願番号）：特開平5-312707
出願日： 1992年05月06日
公開日（公表日）： 1993年11月22日
要約：

【要約】【目的】 圧電振動体を用いたガスセンサであって、水蒸気に対する感度が低く、炭化水素ガスに対する選択性が高いガス吸着膜材料を持つガスセンサを提供する。【構成】 圧電振動体1上にガス吸着膜2として、窒素原子、炭素原子及びホウ素原子の内の少なくとも1種を含む無機材料であって酸素原子が20atom%以下であるもの、又はフッ素を主な構成元素とするフッ素系材料を電極を介して形成してなるガスセンサ。

請求項（抜粋）：

圧電振動体上にガス吸着膜として、窒素原子、炭素原子及びホウ素原子の内の少なくとも1種を含む無機材料であって酸素原子が20atom%以下であるもの、又はフッ素を主な構成元素とするフッ素系材料を電極を介して形成してなることを特徴とするガスセンサ。