半導体ウェハ収納器

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：前田弘 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-084789
公開番号（公開出願番号）：特開平10-284548
出願日： 1997年04月03日
公開日（公表日）： 1998年10月23日
要約：

【要約】【課題】半導体ウェハ10を保持する保持板11、プローブカード12及び弾性シール材14によって形成される密封空間13の圧力変化を検出できるようにする。【解決手段】保持板11の内部には一端において密封空間13と連通する連通路17が形成されており、保持板11の側面には連通路17の他端と連通して密封空間13の減圧状態を検出する減圧インジケータ18が設けられている。減圧インジケータ18は、内部が密封空間13と連通するように設けられた筒状体と、該筒状体の内部に、該筒状体の内周面に対して密接状態で且つ摺動可能に設けられ、密封空間13の減圧状態の変動に伴って移動する弁体と、該弁体の移動を検出する検出手段とを有している。

請求項（抜粋）：

それぞれが検査用電極を有する複数の半導体集積回路素子が形成されている半導体ウェハを保持するウェハ保持板と、前記ウェハ保持板に保持される半導体ウェハと対向するように設けられ、前記検査用電極と接続されるプローブ端子を有するコンタクタと、前記ウェハ保持板と前記コンタクタとの間に設けられ、前記ウェハ保持板及びコンタクタと共に密封空間を形成する弾性材よりなる環状のシール材と、前記密封空間と連通するように設けられており、前記密封空間を減圧して、前記ウェハ保持板に保持された半導体ウェハの半導体集積回路素子の各検査用電極と前記コンタクタの各プローブ端子とを接続させるための吸引通路と、減圧されている前記密封空間の圧力変動を検出する圧力変動検出手段とを備えていることを特徴とする半導体ウェハ収納器。

IPC (3件)：

H01L 21/66 , G01R 31/28 , H01L 21/68

FI (4件)：

H01L 21/66 B , H01L 21/66 E , H01L 21/68 T , G01R 31/28 K

前のページに戻る