特許
J-GLOBAL ID：200903062844208252
ポジ型感光性樹脂組成物およびレジスト像の製造法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-210283
公開番号（公開出願番号）：特開平10-123700
出願日： 1997年08月05日
公開日（公表日）： 1998年05月15日
要約：
【要約】【課題】 遠紫外線、X線、電子線などの露光に対し高感度で解像度が高いポジ型感光性樹脂組成物及び解像度の優れたレジスト像を形成することができるレジスト像の製造法を提供する。【解決手段】 (A)アルカリ水溶液可溶性樹脂、(B)活性化学線照射により酸を生じる化合物、(C)酸触媒反応によりアルカリ水溶液に対し溶解度を増加する酸分解性基を有する物質、(D)溶剤としてジアセトンアルコ-ルを含むポジ型感光性樹脂組成物及びこの感光性樹脂組成物を基板上に塗布、乾燥した後、露光、加熱、現像することを特徴とするレジスト像の製造法。
請求項（抜粋）：
(A)アルカリ水溶液可溶性樹脂、(B)活性化学線照射により酸を生じる化合物、(C)酸触媒反応によりアルカリ水溶液に対し溶解度を増加する酸分解性基を有する物質、(D)溶剤としてジアセトンアルコ-ルを含むポジ型感光性樹脂組成物。
IPC (5件)：
G03F 7/004 501
, C09D 5/00
, C09D201/00
, G03F 7/039 601
, H01L 21/027
G03F 7/004 501
, C09D 5/00 C
, C09D201/00
, G03F 7/039 601
, H01L 21/30 502 R
, H01L 21/30 569 F
