特許
J-GLOBAL ID：200903062849170806
圧力センサ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
須田 正義
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-161029
公開番号（公開出願番号）：特開平11-006779
出願日： 1997年06月18日
公開日（公表日）： 1999年01月12日
要約：
【要約】【課題】比較的大きな圧力がダイヤフラムに作用してもダイヤフラムが圧力基準室の四角錐台の上縁に接触せず、ダイヤフラムの動作範囲を狭めない。【解決手段】光ファイバ12の先端にこの先端面に対向するように光透過性のセンサ基板13が設けられ、センサ基板の光ファイバ対向面と反対側の面に対向するダイヤフラム16の表面に光反射膜14が形成される。センサ基板とダイヤフラムとの間に四角錐台状の空洞17aを有する圧力基準室17が気密的に隔離される。ダイヤフラム16は外部からの圧力により変形不能な厚肉部26と、外部からの圧力により変形可能な円形状の薄肉部27とを有する。また薄肉部27の中心が光ファイバ12の軸心に一致しかつ薄肉部27の直径が圧力基準室17の四角錐台状の空洞17aの上縁で形成される矩形の対角線未満に形成される。
請求項（抜粋）：
光ファイバ(12)の先端に前記先端面に対向するように設けられた光透過性のセンサ基板(13)と、前記センサ基板(13)の光ファイバ(12)対向面と反対側の面に対向し表面に光反射膜(14)が形成されたダイヤフラム(16)と、前記センサ基板(13)と前記ダイヤフラム(16)との間に気密的に隔離された四角錐台状の空洞(17a)を有する圧力基準室(17)とを備え、前記光ファイバ(12)から出射する光を受ける前記ダイヤフラム(16)が圧力により変形することによって前記光ファイバ(16)に戻る光の変化を圧力として検出する圧力センサ(11)において、前記ダイヤフラム(16)が外部からの圧力により変形不能な厚肉部(26)と、外部からの圧力により変形可能な円形状の薄肉部(27)とを有し、前記薄肉部(27)の中心が前記光ファイバ(12)の軸心に一致しかつ前記薄肉部(27)の直径が前記圧力基準室(17)の四角錐台状の空洞(17a)の上縁で形成される矩形の対角線未満に形成されたことを特徴とする圧力センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01L 9/00 B
, H01L 29/84 B
