特許

J-GLOBAL ID：200903062853366081

液状体の吐出方法と液状体の吐出装置、及び電子機器

発明者： 臼井 隆寛
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (3件)： 渡邊 隆 ,  志賀 正武 ,  実広 信哉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-311110
公開番号（公開出願番号）：特開2004-141798
出願日： 2002年10月25日
公開日（公表日）： 2004年05月20日
要約：

【課題】液状体の高粘度化に起因する課題を解消し、しかもフラッシンングを不要にした、液状体の吐出方法と液状体の吐出装置、及び電子機器を提供する。【解決手段】基板SUBに対し、溶媒あるいは分散媒を含む液状体をノズルから吐出する吐出ヘッド2を有した液状体の吐出装置1である。吐出ヘッド2と基板SUBとを収容するチャンバー23と、チャンバー23内に溶媒あるいは分散媒の蒸気を供給するための蒸気供給機構5と、蒸気供給機構5から供給される蒸気の温度を、チャンバー23内の温度以下に調整する温度調整機構31と、を備えている。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

ノズルから溶媒あるいは分散媒を含む液状体を吐出する吐出ヘッドを有した液状体の吐出装置により、基板に対し前記液状体を吐出する吐出方法であって、 前記基板に対して前記液状体を吐出するに先立ち、予め前記吐出ヘッドと基板との間に溶媒あるいは分散媒の蒸気を配しておくことを特徴とする液状体の吐出方法。

IPC (11件)：

B05D1/26 ,  B05C5/00 ,  B05C9/10 ,  B05D3/10 ,  B41J2/01 ,  B41J2/165 ,  G02B3/00 ,  G02B5/20 ,  G02F1/13 ,  H05B33/10 ,  H05B33/14

FI (11件)：

B05D1/26 Z ,  B05C5/00 101 ,  B05C9/10 ,  B05D3/10 H ,  G02B3/00 A ,  G02B5/20 101 ,  G02F1/13 101 ,  H05B33/10 ,  H05B33/14 A ,  B41J3/04 102N ,  B41J3/04 101Z

Fターム (56件)：

2C056EA14 ,  2C056EC04 ,  2C056EC08 ,  2C056EC29 ,  2C056EC43 ,  2C056EC53 ,  2C056FA04 ,  2C056KB37 ,  2C056KD10 ,  2H048BA02 ,  2H048BA11 ,  2H048BA55 ,  2H048BA64 ,  2H048BB02 ,  2H048BB42 ,  2H088FA18 ,  2H088FA25 ,  2H088FA30 ,  2H088HA01 ,  2H088MA16 ,  2H088MA20 ,  3K007AB18 ,  3K007DB03 ,  3K007FA01 ,  3K007FA03 ,  4D075AC07 ,  4D075BB63X ,  4D075CA22 ,  4D075CA47 ,  4D075CB08 ,  4D075DA06 ,  4D075DA31 ,  4D075DB13 ,  4D075DB14 ,  4D075DC21 ,  4D075DC24 ,  4D075EA05 ,  4D075EA45 ,  4F041AA02 ,  4F041AA05 ,  4F041AA16 ,  4F041AB01 ,  4F041BA10 ,  4F041BA13 ,  4F041BA22 ,  4F041BA38 ,  4F042AA02 ,  4F042AA06 ,  4F042AA27 ,  4F042AB00 ,  4F042BA18 ,  4F042BA19 ,  4F042CB07 ,  4F042CB11 ,  4F042CB19 ,  4F042DA00