圧力振動吸着法による高純度ガス製造装置及び製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小倉亘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-096973
公開番号（公開出願番号）：特開平7-275629
出願日： 1994年04月11日
公開日（公表日）： 1995年10月24日
要約：

【要約】【目的】コンパクトの設備で高純度の有価ガスを高生産性で製造する。【構成】原料空気源213から乾燥塔220に原料空気を圧送し、水分や不要ガス等を除去した後、乾燥原料給気管252から吸着塔230に送り込む。吸着塔230で純化されたガスは、リサイクル管283を経て乾燥塔220に返送され、更に純化される。吸着塔230内のガスの一部は、返送管254を経て乾燥塔220に送り込まれ、吸着塔220内の乾燥・吸着剤221に吸着されている水分や不要ガスを脱着し、排気管227から大気に放出する。純化された有価ガスは、製品回収管281からリザーバタンク280に送り込まれ、製品ガス290として消費場所に送られる。乾燥塔220及び吸着塔230は、1台のポンプ210で加圧及び真空引きすることができる。

請求項（抜粋）：

原料空気から水分や不要ガスを除去する乾燥・吸着剤(221)が充填された乾燥塔(220)と、原料空気源(213)に接続され導入弁(211)を備えた原料給気管(212)の途中に設けられた加圧・減圧兼用ポンプ(210)と、乾燥塔(220)の出側から延びた出口管(251)に接続され乾燥原料供給弁(255)を備えた給気管(252)と、給気管(252)が入側に接続され吸着剤(231)が充填された吸着塔(230)と、給気管(212)に連通し大気放出弁(215)を備えた原料供給管(214)と、原料供給管(214)を乾燥塔(220)の入側に接続し原料送入弁(223)を備えた原料導入管(222)と、乾燥塔(220)の入側近傍で空気導入管(222)から分岐し大気放出弁(226)を備えた排気管(227)と、吸着塔(230)の出口管(261)を乾燥塔(220)の出口管(251)に接続し、流量調整弁(257)及び不要ガス排出弁(258)が設けられた返送管(254)と、吸着塔(230)を原料供給管(214)に接続しリサイクル供給弁(233)を備えた入口管(232)と、入口管(232)からポンプ(210)上流側の給気管(212)まで延び真空引き弁(234)が設けられた排気管(241)と、原料供給管(214)からリザーバタンク(280)まで延び製品回収弁(282)が設けられた製品回収管(281)と、製品回収弁(282)とリザーバタンク(280)との間で製品回収管(281)から分岐してポンプ(210)上流側の給気管(212)まで延びリサイクル取出し弁(284)を備えたリサイクル管(283)とを備え、乾燥塔(220)及び吸着塔(230)を経て純化された有価ガスがリザーバタンク(280)に蓄えられる圧力振動吸着法による高純度ガス製造装置。

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