特許

J-GLOBAL ID：200903062860234360

マスター基板

発明者： 今滝 寛之 ,  平岡 美津穂 ,  長野 和美 ,  田邊 浩 ,  矢野 敬弥
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 渡辺 徳廣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-198843
公開番号（公開出願番号）：特開平7-037277
出願日： 1993年07月19日
公開日（公表日）： 1995年02月07日
要約：

【要約】【目的】 精度の高いマスター基板を歩留り良く提供する。【構成】 表面形状を転写して複製を作製するマスター基板に於て、基板1上に形成された導電性のパターン2に電着層3を設けてなることを特徴とするマスター基板。

請求項（抜粋）：

表面形状を転写して複製を作製するマスター基板に於て、基板上に形成された導電性のパターンに電着層を設けてなることを特徴とするマスター基板。