特許
J-GLOBAL ID：200903062860958555
ウエハ搬送装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-207270
公開番号（公開出願番号）：特開平5-036815
出願日： 1991年07月25日
公開日（公表日）： 1993年02月12日
要約：
【要約】【目的】異物挟持によるバキューム圧低下後の再動作時等におけるウエハ保持状態を確実に検出してウエハ破損を防止し安全性を高めたウエハ搬送装置を提供する。【構成】 ウエハ5を真空吸着して保持するハンド1と、該ハンド1のウエハ保持状態を検出する第1の検出手段4と、前記ハンド1上のウエハ5の有無を検出する第2の検出手段2とを具備する。
請求項（抜粋）：
ウエハを真空吸着して保持するハンドと、該ハンドのウエハ保持状態を検出する第1の検出手段と、前記ハンド上のウエハの有無を検出する第2の検出手段とを具備したウエハ搬送装置。
IPC (2件)：
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