特許

J-GLOBAL ID：200903062861375324

炭酸ガスレーザ光を用いた基板の加工方法およびその加工装置

発明者： 井本 克之
出願人/特許権者： 日立電線株式会社
代理人 (1件)： 絹谷 信雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-274259
公開番号（公開出願番号）：特開平9-108862
出願日： 1995年10月23日
公開日（公表日）： 1997年04月28日
要約：

【要約】【課題】 炭酸ガスレーザ光の出力を一定に保つと共に、各種材料の所望の箇所を精密に加工することができる炭酸ガスレーザ光を用いた基板の加工方法およびその加工装置を提供する。【解決手段】 炭酸ガスレーザ光Aを用いた基板19の加工方法において、出力側の共振器4bから出力された上記炭酸ガスレーザ光Aの一部を、その共振器4bと上記集光レンズ17との間に光軸に対して傾けて設けたモニタ光検出用ミラー10で反射させ、そのモニタ光検出用ミラー10の表面で反射された炭酸ガスレーザ光Rをモニタし、上記モニタ光検出用ミラー10の裏面に可視光域のレーザ光Hを当てて反射させ、その反射された可視光域のレーザ光Hを上記炭酸ガスレーザ光Dに重畳させて基板19に照射するものである。

請求項（抜粋）：

炭酸ガスを含む混合気体を封入した炭酸ガスレーザ管の両端に共振器を設け、上記炭酸ガスレーザ管内に設けた電極間に電圧を印加して放電させることによって、上記共振器間でレーザ発振させ、そのレーザ発振した炭酸ガスレーザ光の一部を上記共振器の一方側から出力し、集光レンズを通して基板に照射し、該基板を加工する炭酸ガスレーザ光を用いた基板の加工方法において、出力側の共振器から出力された上記炭酸ガスレーザ光の一部を、その共振器と上記集光レンズとの間に光軸に対して傾けて設けたモニタ光検出用ミラーで反射させ、そのモニタ光検出用ミラーの表面で反射された炭酸ガスレーザ光をモニタし、上記モニタ光検出用ミラーの裏面に可視光域のレーザ光を当てて反射させ、その反射された可視光域のレーザ光を上記炭酸ガスレーザ光に重畳させて基板に照射することを特徴とする炭酸ガスレーザ光を用いた基板の加工方法。

IPC (7件)：

B23K 26/00 ,  B23K 26/02 ,  H01S 3/00 ,  H01S 3/041 ,  H01S 3/134 ,  H01S 3/22 ,  H05K 3/00

FI (8件)：

B23K 26/00 H ,  B23K 26/00 N ,  B23K 26/02 C ,  H01S 3/00 B ,  H01S 3/134 ,  H05K 3/00 N ,  H01S 3/04 G ,  H01S 3/22 Z

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平2-179378
  
• 特開平2-006092
  
• 特開平2-077713
  
• 特開平2-237087