特許

J-GLOBAL ID：200903062865910160

超音波振動切削装置

発明者： 熊谷 壮祐
出願人/特許権者： 株式会社ディスコ
代理人 (2件)： 小野 尚純 ,  奥貫 佐知子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-276781
公開番号（公開出願番号）：特開2008-093766
出願日： 2006年10月10日
公開日（公表日）： 2008年04月24日
要約：

【課題】超音波振動子に印加する交流電力の周波数に対応した超音波振動による切削ブレードの振幅を正確に検出することができる超音波振動切削装置を提供する。【解決手段】回転スピンドル42に設けられた切削工具43及び超音波振動手段6と、超音波振動手段に交流電力を印加する電力供給手段7と、交流電力の周波数を調整する周波数調整手段93と、交流電力の電力値を調整する電力調整手段92と、周波数調整手段および電力調整手段を制御する制御手段94とを備える超音波振動切削装置であり、切削ブレード45の振幅を検出する振幅検出手段10から出力された振幅信号のうち設定された周波数の振幅信号のみを通過させ制御手段に送る周波数可変フィルター11を備え、制御手段は周波数調整手段に出力する周波数信号と同一の周波数信号を周波数可変フィルターに出力し、周波数可変フィルターから出力された振幅信号に基いて切削ブレードの振幅を求める。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削するための回転スピンドルと該回転スピンドルに取り付けられた切削ブレードを備えた切削工具と該回転スピンドルに配設された超音波振動手段を備えた切削手段と、該超音波振動手段に交流電力を印加する電力供給手段とを具備し、該電力供給手段が該超音波振動手段に印加する交流電力の周波数を調整する周波数調整手段と該超音波振動手段に印加する交流電力の電力値を調整する電力調整手段と該周波数調整手段および該電力調整手段を制御する制御手段とを具備している、超音波振動切削装置において、 該回転スピンドルに取り付けられた該切削工具の切削ブレードの振幅を検出する振幅検出手段と、 該振幅検出手段から出力された振幅信号のうち設定された周波数の振幅信号のみを通過させ該制御手段に送る周波数可変フィルターと、を具備し、 該制御手段は、該周波数調整手段に出力する周波数信号と同一の周波数信号を該周波数可変フィルターに出力し、該周波数可変フィルターから出力された振幅信号に基いて切削ブレードの振幅を求める、 ことを特徴とする超音波振動切削装置。

IPC (4件)：

B24B 27/06 ,  H01L 21/301 ,  B24B 1/04 ,  B24B 49/10

FI (4件)：

B24B27/06 M ,  H01L21/78 F ,  B24B1/04 B ,  B24B49/10

Fターム (21件)：

3C034AA19 ,  3C034BB01 ,  3C034BB28 ,  3C034CA24 ,  3C049AA03 ,  3C049AA11 ,  3C049AA16 ,  3C049AC02 ,  3C049BA09 ,  3C049BB02 ,  3C049BC02 ,  3C049CB02 ,  3C058AA03 ,  3C058AA11 ,  3C058AA16 ,  3C058AC02 ,  3C058BA09 ,  3C058BB02 ,  3C058BC02 ,  3C058CB02 ,  3C058DA10

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 特許第3469516号公報