特許

J-GLOBAL ID：200903062875379209

感光性ポリイミド前駆体組成物及びそれを用いたパターン製造法

発明者： 山崎 範幸 ,  小島 康則 ,  杉浦 実 ,  真下 清孝
出願人/特許権者： 日立化成工業株式会社
代理人 (1件)： 浅村 皓 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-019414
公開番号（公開出願番号）：特開平11-209611
出願日： 1998年01月30日
公開日（公表日）： 1999年08月03日
要約：

【要約】【課題】 水性の液により短時間での現像が可能で作業効率を向上させることができると共に、感光特性、特にi線での感光特性に優れ、高感度で、低露光量でも良好な形状のパターンが得られ、現像後の残膜率も高く、硬化膜特性にも優れる感光性ポリイミド前駆体組成物及びそれを用いるパターン製造法を提供する。【解決手段】 感光性基及び酸性を示す基を有する感光性ポリイミド前駆体と感光剤及びアルカリ水溶液可溶性基を有する化合物を含有してなる感光性ポリイミド前駆体組成物;並びにこの感光性ポリイミド前駆体組成物を用いて形成してなる被膜に、所定のパターンのフォトマスクを介して光を照射した後、該被膜をアルカリ水溶液で現像することを特徴とするパターン製造法。

請求項（抜粋）：

感光性基及び酸性を示す基を有する感光性ポリイミド前駆体、感光剤及びアルカリ水溶液可溶性基を有する非感光性の化合物を含有してなる感光性ポリイミド前駆体組成物。

IPC (3件)：

C08L 79/08 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/312

FI (4件)：

C08L 79/08 A ,  H01L 21/312 B ,  H01L 21/312 D ,  H01L 21/30 502 R