特許
J-GLOBAL ID：200903062878187602
プローブユニツト及びこれを用いた走査型トンネル顕微鏡、情報処理装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
豊田 善雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-255909
公開番号（公開出願番号）：特開平5-066107
出願日： 1991年09月09日
公開日（公表日）： 1993年03月19日
要約：
【要約】【目的】 カンチレバー型プローブ形成の際のSiメンブレンのたわみによる解像度低下を防止する手段を講ずることにある。【構成】 情報入出力用のプローブ10、圧電体薄膜5,6および該圧電体薄膜の駆動電極7,8,9を有するカンチレバーを、単結晶シリコン基板1の正方形あるいは長方形貫通穴4上に設けたプローブユニットであって、該貫通穴の表面開口部面積を2.5×10-5平方メートル以下としたプローブユニット、を特徴とする。
請求項（抜粋）：
情報入出力用のプローブ、圧電体薄膜および該圧電体薄膜の駆動電極を有するカンチレバーを、単結晶シリコン基板の正方形あるいは長方形貫通穴上に設けたプローブユニットであって、該貫通穴の表面開口部面積を2.5×10-5平方メートル以下としたことを特徴とするプローブユニット。
IPC (2件)：
引用特許：
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