特許
J-GLOBAL ID：200903062882558399
ウエハリング固定装置
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-283235
公開番号（公開出願番号）：特開平6-132398
出願日： 1992年10月21日
公開日（公表日）： 1994年05月13日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 半導体ウエハのダイシングやチップのピックアップの際のウエハリング固定装置において、ウエハリングの固定を確実にして作業時のウエハリングの面方向及び上下方向のぶれや振動を防止する。【構成】 粘着シートを介し半導体ウエハを支持するウエハリング1を搬入固定する装置で、ウエハ搬入方向に対し直交して対向配置された一対のリング搬入レール5と、搬入方向の先端部に配置されるリング受け部材6と、搬入後ウエハリング1の後部をリング受け部材側に押圧するリング押圧部材7とを備えている。リング搬入レールはウエハリングの厚さよりやや広く上下からリングを支持する搬入スリット5aと、その内にありリング端面のガイド壁を有し、リング受け部材6はリングの搬入先端部を圧入するリング厚さより狭いスリットを有し、リング押圧部材7はウエハリング後部を押圧するが、リングの搬入路外への回避位置と押圧位置に移動できる。
請求項（抜粋）：
粘着シート(2)を介して、半導体ウエハ(3)を支持しているウエハリング(1)を搬入固定するためのウエハリング固定装置において、ウエハ搬入方向に対して直交するように対向配置される一対のリング搬入レール(5)と、搬入方向の突き当たり部に配置されるリング受け部材(6)と、搬入後にウエハリング(1)の後部をリング受け部材(6)側に押圧するリング押圧部材(7)とを備えており、前記リング搬入レール(5)は、ウエハリング(1)の厚さより若干広いウエハリング搬入用スリット(5a)と、該スリット(5a)内にありリング端面をガイドするガイド壁(5b)を有し、前記リング受け部材(6)は、搬入されるウエハリング(1)の搬入方向先端部を圧入するリング厚さより若干狭いスリット(6a)を有し、前記リング押圧部材(7)は、ウエハリング(1)の後部を押圧するもので、ウエハリング(1)の搬入路外への回避位置と、ウエハリング押圧位置とに移動可能であることを特徴とするウエハリング固定装置。
IPC (2件)：
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