プローブカード及びプローブピン

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-166178
公開番号（公開出願番号）：特開平11-344509
出願日： 1998年05月29日
公開日（公表日）： 1999年12月14日
要約：

【要約】【課題】ユーザーがプローブピンを交換することができ、広い温度域で共用ができ、微細ピッチの面配置と多ピンに対応できるプローブカードの提供。【解決手段】先端が被検査体の電極パッドに接触した時に弾性変形する複数の直線状のプローブピン1と、その基端をピン支持基材のパッド5に接触状態に保持するピン保持板4と、各プローブピン1を挿通してその基端部の位置を決める第1テーパ穴2Aを有する位置決め板2と、各プローブピン1を挿通してその先端部寄りをガイドするとともに先端部の位置を決める第2テーパ穴3Aを有するガイド板3とを備え、前記第1テーパ穴2Aと第2テーパ穴3Aは、穴径が大きい側が向き合うように設けたことを特徴とするプローブカード。

請求項（抜粋）：

先端が被検査体の電極パッドに接触した時に弾性変形する複数の直線状のプローブピン(1)と、その基端をピン支持基材のパッド(5)に接触状態に保持するピン保持板(4)と、各プローブピン(1)を挿通してその基端部の位置を決める第1テーパ穴(2A)を有する位置決め板(2)と、各プローブピン(1)を挿通してその先端部寄りをガイドするとともに先端部の位置を決める第2テーパ穴(3A)を有するガイド板(3)とを備え、前記第1テーパ穴(2A)と第2テーパ穴(3A)は、穴径が大きい側が向き合うように設けたことを特徴とするプローブカード。

IPC (3件)：

G01R 1/073 , G01R 31/26 , H01L 21/66

FI (3件)：

G01R 1/073 E , G01R 31/26 J , H01L 21/66 B

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