特許

J-GLOBAL ID：200903062887520764

位置決め装置、露光装置およびデバイス製造方法

発明者： 堆 浩太郎
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 西山 恵三 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-036607
公開番号（公開出願番号）：特開2001-230177
出願日： 2000年02月15日
公開日（公表日）： 2001年08月24日
要約：

【要約】【課題】 ステージの駆動反力が他ユニットに影響を与えず、高精度な位置決め精度を有する位置決め装置を提供する。【解決手段】 本発明の位置決め装置は、第1の基準面を有するベースと、該第1の基準面上を移動可能であり、該第1の基準面と垂直な第2の基準面を有する第1の移動体と、該第1の基準面上を移動可能であり、該第2の基準面に沿って移動可能な第2の移動体と、該第1の移動体と第2の移動体との間で駆動力を発生する駆動装置とを備えることを特徴とする。これにより、目的物を搭載する第2移動体の位置決め精度を飛躍的に向上させることができる。

請求項（抜粋）：

基準面を有するベースと、該基準面上を移動可能である第1の移動体と、該基準面上を移動可能である第2の移動体と、該第1の移動体と第2の移動体との間で駆動力を発生する駆動装置とを備え、該駆動装置が該第1の移動体と該第2の移動体との間で駆動力を発生するとき、該第1の移動体は、該第2の移動体と反対方向に移動することを特徴とする請求項1記載の位置決め装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521 ,  G03F 9/00

FI (3件)：

G03F 7/20 521 ,  G03F 9/00 H ,  H01L 21/30 503 A

Fターム (5件)：

5F046CC03 ,  5F046CC05 ,  5F046CC06 ,  5F046CC16 ,  5F046CC19