リニアモータ、並びにこれを用いたステージ装置及び露光装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：古谷史旺 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-257364
公開番号（公開出願番号）：特開2001-086725
出願日： 1999年09月10日
公開日（公表日）： 2001年03月30日
要約：

【要約】【課題】リニアモータが設置されるステージ装置において、装置全体として発熱量を低く抑えて、エネルギー損失を少なくできるリニアモータを提供する。【解決手段】リニアモータ100は、筒状ヨーク122の内周面に沿うように環状の永久磁石121が敷設されて可動子120が構成され、芯部材111にコイル20が巻かれて固定子120が構成される。筒状ヨーク122の厚さ(t)は、永久磁石121によって最大磁束密度が得られる所定の厚さ(t0)より薄く(tx)形成されている。この厚さ(tx)は、筒状ヨーク122から磁束が漏れることによるステージの駆動力の低下と、該筒状ヨーク122を薄くしたことによるステージの軽量化とを比較し、同じ条件の下で当該ステージ駆動時の発熱量(Q)が最小となる値に決定される。

請求項（抜粋）：

磁性体からなる筒状ヨークの内周面に沿うように環状の永久磁石が敷設されて可動子が構成され、芯部材にコイルが巻かれて固定子が構成されたリニアモータにおいて、前記筒状ヨークの厚さが、前記永久磁石によって飽和磁束密度となる所定の厚さより薄く形成されていることを特徴とするリニアモータ。

IPC (3件)：

H02K 41/03 , H02K 1/34 , H02K 41/02

FI (3件)：

H02K 41/03 A , H02K 1/34 , H02K 41/02 A

Fターム (22件)：

5H002AA07 , 5H002AB01 , 5H002AC03 , 5H002AC07 , 5H002AD02 , 5H002AE08 , 5H641BB06 , 5H641BB14 , 5H641BB16 , 5H641BB19 , 5H641GG02 , 5H641GG04 , 5H641GG08 , 5H641GG11 , 5H641GG12 , 5H641GG15 , 5H641HH06 , 5H641HH12 , 5H641HH13 , 5H641HH14 , 5H641JA09 , 5H641JB04

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