特許
J-GLOBAL ID：200903062891074876
ウエハ搬送装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山広 宗則 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-369709
公開番号（公開出願番号）：特開2000-195922
出願日： 1998年12月25日
公開日（公表日）： 2000年07月14日
要約：
【要約】【課題】 側方(水平方向)に占める空間を小さくし、よってスペースの無駄をなくすことのできるウエハ搬送装置を提供する。【解決手段】 コントローラ6で第一モーター2aと第二モーター3aとを同期して回転させて、昇降ロッド2を昇降動させると共に回動アーム3を垂直平面上を回動させ、継ぎ手4の下端部の軸心4bを水平ラインLに沿った進退動とし、把持アーム5でウエハWを搬送することによって、回動アーム3等の側方への突出を抑制する。
請求項（抜粋）：
装置本体に取付けられ、第一モーターによって昇降動自在とされた昇降ロッドと、前記昇降ロッドの上端部に取付けられ、第二モーターによって垂直平面上を時計回り方向および反時計回り方向に回動自在とされた回動アームと、前記回動アームの上端部に取付けられ、該回動アームに連結されたリンク機構によって、常に垂直姿勢を維持する継ぎ手と、前記継ぎ手の上端部に取付けられ、前記回動アームの回動軸に直角な水平軸の周りに第三モーターによって回動自在とされ、ウエハーを垂直姿勢、水平姿勢またはその間の姿勢で把持する把持アームと、および、前記装置本体に設けられ、前記第一モーター、第二モーターおよび第三モーターを制御するコントローラと、を備え、前記コントローラで前記第一モーターと第二モーターとを同期して回転させて、前記昇降ロッドの昇降動と回動アームの回動とを同期させ、前記継ぎ手の下端部の軸心を水平ラインに沿った進退動とし、前記把持アームでウエハーを搬送してなることを特徴とするウエハ搬送装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 A
, B65G 49/07 C
5F031CA02
, 5F031FA01
, 5F031FA11
, 5F031FA18
, 5F031GA02
, 5F031GA06
, 5F031GA15
, 5F031GA42
, 5F031GA43
, 5F031GA47
, 5F031GA49
