特許
J-GLOBAL ID:200903062895754391
半導体レーザ素子
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
前田 弘 (外7名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-212979
公開番号(公開出願番号):特開2002-111137
出願日: 1998年08月17日
公開日(公表日): 2002年04月12日
要約:
【要約】【課題】 低抵抗化を図る半導体レーザ素子のジャンクションダウン・ボンディングを容易に且つ確実に行なえるようにし、また、基板の劈開時のリッジ部を保護できるようにする。【解決手段】 基板11のエピタキシャル層における中央部には、n型半導体層12、活性層13及びp型半導体層14を含む凸状部からなる共振器形成部が形成されている。共振器形成部におけるp型半導体層14の上部には中央部がストライプ状に突出したリッジ部14aが形成されている。共振器形成部の側方であって、n型半導体層12の露出部には、Ti/Alからなるn側電極16が形成されている。n側電極16のp側電極15側の領域、並びにp側電極15を除く共振器形成部の上面及び側面は、それぞれSiNからなる絶縁膜17に覆われている。
請求項(抜粋):
絶縁性基板の主面上に順次形成された第1導電型の第1の半導体層、活性層及び第2導電型の第2の半導体層とからなる積層体と、前記積層体の上側部分に、前記第1の半導体層、活性層及び第2の半導体層を含むように形成された凸状部からなり、レーザ光の出射方向を規制する共振器形成部と、前記第1の半導体層の上における前記共振器形成部の側方に設けられた第1のレーザ電極と、前記共振器形成部の上部のほぼ中央部に互いに間隔をおいて形成され且つ出射方向に延びる一対の溝部同士の間に設けられたリッジ部と、前記リッジ部の上面に設けられた第2のレーザ電極とを備えていることを特徴とする半導体レーザ素子。
IPC (2件):
H01S 5/343 610
, H01S 5/022
FI (2件):
H01S 5/343 610
, H01S 5/022
Fターム (13件):
5F073AA13
, 5F073AA74
, 5F073AA84
, 5F073CA07
, 5F073CB05
, 5F073CB19
, 5F073CB22
, 5F073DA05
, 5F073DA24
, 5F073DA32
, 5F073EA28
, 5F073FA15
, 5F073FA22
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