特許
J-GLOBAL ID：200903062896809440
ZnSeウエハの熱処理方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
内田 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-325777
公開番号（公開出願番号）：特開平9-165300
出願日： 1995年12月14日
公開日（公表日）： 1997年06月24日
要約：
【要約】【課題】 ZnSeウエハ表面に荒れを発生させることなく、ZnSeウエハ表面全域を均一に熱処理してZnSeの抵抗値を低下させる方法を提供しようとするものである。【解決手段】 ZnSeウエハを亜鉛溶融液中で熱処理する方法において、前記ZnSeウエハを上方又は下方に流れる亜鉛溶融液の定常対流の中で熱処理してZnSeウエハの電気抵抗を低下させる方法である。
請求項（抜粋）：
ZnSeウエハを亜鉛溶融液中で熱処理する方法において、前記ZnSeウエハを上方又は下方に流れる亜鉛溶融液の定常対流の中で熱処理することを特徴とするZnSeウエハの熱処理方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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