特許

J-GLOBAL ID：200903062897238080

カラー式変形可能ミラーデバイス及びその製造方法

発明者： マイクル エイ.ミグナーディ ,  ブルックス ジェイ.ストーリィ
出願人/特許権者： テキサス インスツルメンツ インコーポレイテツド
代理人 (1件)： 浅村 皓 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-205112
公開番号（公開出願番号）：特開平5-196881
出願日： 1992年07月31日
公開日（公表日）： 1993年08月06日
要約：

【要約】【目的】 完全カラー画像を正確に再生する動作を行ないうる、単一チップ変形可能デバイスおよびその製造方法を開示する。【構成】 変形可能ミラーデバイス10は、電子信号に応答する着色ミラー14の複数のグループを含む。それぞれのミラーグループは、レジストと染料との混合物によってコーティングされ、それによって可視光の特定の波長を反射する。このようなカラー式変形可視ミラーデバイス(「DMD」)の製造方法は、レジストと染料とを含有する材料の層26、30、34をDMD上に形成する工程と、DMD上から上記材料層26、32、34の諸部分を選択的に除去する工程と、を含む。

請求項（抜粋）：

印加された電子信号に応答して入射光を選択的に反射する動作を行ないうる複数の変形可能ミラーと、染料とレジストとの混合物によってコーティングされ上記入射光の第1波長範囲を反射する動作を行ないうる上記ミラーの第1グループと、染料とレジストとの混合物によってコーティングされ上記入射光の第2波長範囲を反射する動作を行ないうる上記ミラーの第2グループと、を含む、変形可能ミラーデバイス。