特許

J-GLOBAL ID：200903062900446633

荷電粒子ビーム露光装置

発明者： 大饗 義久 ,  山田 章夫 ,  安田 洋
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 高橋 敬四郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-009464
公開番号（公開出願番号）：特開平5-198490
出願日： 1992年01月22日
公開日（公表日）： 1993年08月06日
要約：

【要約】【目的】 高精度、高スループットの荷電粒子ビーム露光装置に関し、高い位置決め精度を有する荷電粒子ビーム露光装置を提供することを目的とする。【構成】 試料をステージ上に載置し、ステージを移動させることによって試料を移動させ、試料上に荷電粒子ビームを照射する荷電粒子ビーム露光装置であって、前記ステージが冷媒流路を有し、冷媒流路が外部冷媒源に接続されている。

請求項（抜粋）：

試料(10)をステージ(2、3)上に載置し、ステージを移動させることによって試料を移動させ、試料上に荷電粒子ビームを照射する荷電粒子ビーム露光装置であって、前記ステージ(2、3)が冷媒流路(11、14)を有し、冷媒流路が外部冷媒源に接続されている荷電粒子ビーム露光装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 504 ,  G12B 5/00 ,  H01L 21/68