特許
J-GLOBAL ID:200903062914915385

圧電素子及びその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-251675
公開番号(公開出願番号):特開2002-033529
出願日: 2000年07月17日
公開日(公表日): 2002年01月31日
要約:
【要約】【課題】 従来困難とされた、製造限界の厚みよりも薄い圧電素子及びその製造方法を提供する。又、光学レンズの製造方法を提供する。【解決手段】 4角形状、又は長方形状のQuartz Blankの、中心部分に、第1に、圧電材料の結晶方向を、識別することが出来る形状の、振動部分を形成した後、第2に、第1に形成した、結晶方向を識別することが出来る、形状を形成した、第1の振動部分の中心部分に、圧電材料の結晶方向を、識別することが出来ない形状である。第2の真円形状、又は丸型形状の振動部分を形成する、圧電素子の加工方法。
請求項(抜粋):
圧電材料からなるリング状の保持部の内部に、薄肉の振動部が一体に形成された圧電素子。
IPC (6件):
H01L 41/09 ,  B81B 3/00 ,  B81C 1/00 ,  H01L 41/22 ,  H03H 3/02 ,  H03H 9/19
FI (6件):
B81B 3/00 ,  B81C 1/00 ,  H03H 3/02 B ,  H03H 9/19 A ,  H01L 41/08 C ,  H01L 41/22 Z
Fターム (5件):
5J108CC02 ,  5J108FF10 ,  5J108KK01 ,  5J108MM08 ,  5J108MM11

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