特許

J-GLOBAL ID：200903062919266520

蛍光X線分光方法および装置

発明者： 村松 康司 ,  尾嶋 正治 ,  庄司 孝 ,  池下 昭弘
出願人/特許権者： 日本電信電話株式会社 ,  理学電機工業株式会社
代理人 (1件)： 谷 義一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-192927
公開番号（公開出願番号）：特開平6-011466
出願日： 1991年08月01日
公開日（公表日）： 1994年01月21日
要約：

【要約】【目的】 蛍光収率が1%以下と小さいために、従来装置では検出が困難であった軽元素からの蛍光X線を、高効率かつ高分解能に測定し、固体材料中の軽元素不純物さらには軽元素を主成分とする気体希薄試料の化学状態を分析することを可能にする。【構成】 入射プローブをアンジュレータ放射光とし、このアンジュレータ放射光の試料上の照射位置を光源点とした場合の光の照射経路上に平面結像型回折格子を配し、この回折格子により分光された前記蛍光X線を集光する平面状分離面に沿って検出する。

請求項（抜粋）：

入射プローブをアンジュレータ放射光とし、このアンジュレータ放射光の試料上の照射位置を光源点とした場合の光の照射経路上に平面結像型回折格子を配し、この回折格子により分光された前記蛍光X線を集光する平面状分離面に沿って検出することを特徴とする蛍光X線分光方法。