超精密面研磨方法及び装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴木正次
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-152376
公開番号（公開出願番号）：特開平7-009330
出願日： 1993年06月23日
公開日（公表日）： 1995年01月13日
要約：

【要約】【目的】この発明は、ワークの研磨面へ砥粒が同一条件で作用するようにしたことを目的とするものである。【構成】遊離砥粒又は固定砥粒を設けたラップ上にてワークを載置し、前記ラップに予め設置したループ又は直線運動させることにより、ワークと研磨材との相対的研磨作用を均等化させた超精密面研磨方法。機台上へY軸方向に移動できるYテーブルを架載し、前記Yテーブル上に、前記Yテーブルの移動方向と交叉して移動できるXテーブルを架載し、前記Xテーブル上へ筒状凹入部を有するラップ枠を固定し、前記筒状凹入部の中央部内へ、上面を平面としたラップを固定すると共に、該ラップ上へワークを載置できるようにし、前記XテーブルとYテーブルに制御された駆動手段を直結した超精密面研磨装置。

請求項（抜粋）：

遊離砥粒又は固定砥粒を設けたラップ上にてワークを載置し、前記ラップに予め設置したループ又は直線運動させることにより、ワークと研磨材との相対的研磨作用を均等化させることを特徴とした超精密面研磨方法。

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭50-077994
特開昭58-155168

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