特許
J-GLOBAL ID：200903062927786819
耐温プローブカード
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
金山 敏彦 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-326722
公開番号（公開出願番号）：特開平6-174746
出願日： 1992年12月07日
公開日（公表日）： 1994年06月24日
要約：
【要約】【目的】 プローブカードを温度変化が激しい試験モードに用いる場合に、熱膨張係数の差によるプローブ12の先端12bの位置ずれを防止する。【構成】 プローブ12の基端12aが固定されるプローブカード基板10と前記プローブ12の中間節点12cを固定する固定リング11との接着固定部に弾性体13を介在させると共に、プローブ12自体にその基端12aと中間節点12cとの間に可撓屈折部12dを設けた。
請求項（抜粋）：
表面にプリント配線が設けられたプローブカード基板と、プリント配線端子に基端が接続固定され、先端が被検査体の端子に向かって伸張した複数のプローブと、プローブカード基板に固定され各プローブの中間節部を固定する固定リングと、を含む耐温プローブカードにおいて、前記各プローブの基端と中間節部との間には可撓屈折部が設けられていることを特徴とする耐温プローブカード。
IPC (2件)：
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