特許

J-GLOBAL ID：200903062929927410

カラーフィルター基板及び液晶表示素子

発明者： 能代 誠 ,  松本 潔 ,  原田 浩信
出願人/特許権者： 旭硝子株式会社
代理人 (1件)： 泉名 謙治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-176230
公開番号（公開出願番号）：特開平7-013147
出願日： 1993年06月23日
公開日（公表日）： 1995年01月17日
要約：

【要約】【目的】炭素を含む酸化ケイ素膜を中間膜として用い、透明電極つきカラーフィルター基板で、導電膜の付着力が向上し、導電膜の微細加工特性(パターニング特性)が向上させる。【構成】透明なガラス基板1上に顔料を分散した樹脂からなるカラーフィルター2を印刷法で厚さ5μmつけ、さらに、ロールコーター方式で樹脂保護層3としてアクリル樹脂を3μmコーティングした。その上に、SiCターゲット用い、混合ガス(Ar/O2 )を導入し、圧力を3×10-3Torrとなるよう、流量を調整した後、基板温度200°C、DCマグネトロンスパッタ法で、膜厚が100nmの、炭素を含む酸化ケイ素膜を中間膜5として形成した。さらに、その上に、マグネトロンスパッタリング法でITOからなる透明導電膜4を250nm厚に形成した。

請求項（抜粋）：

基体上に、カラーフィルター層、樹脂保護層、導電膜が積層された構造のカラーフィルター基板において、樹脂保護層と導電膜との間に、炭素を含有する酸化ケイ素を主成分とする中間膜を有することを特徴とするカラーフィルター基板。

IPC (3件)：

G02F 1/1335 500 ,  G02B 5/20 101 ,  G02F 1/1343