特許
J-GLOBAL ID：200903062931767438
セラミック基板の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
菅 直人 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-231936
公開番号（公開出願番号）：特開平9-064230
出願日： 1995年08月17日
公開日（公表日）： 1997年03月07日
要約：
【要約】【課題】 ハイブリットIC等に用いるガラスセラミック基板の製造方法、特に外表面に配線パターンが形成される1層以上のガラスセラミックよりなるグリーンシートの両側に、該ガラスセラミックグリーンシートの焼成温度では焼結しない収縮防止用のグリーンシートを積層してガラスセラミックグリーンシートを焼成した後、未焼結の収縮防止用グリーンシートを除去してセラミック基板を製造する方法において、最上層の配線を基板と同時焼成する場合の配線のはんだ濡れ性、及び最上層配線を後で焼付ける場合のビアとの電気接続性を良好にする。【解決手段】 上記ガラスセラミックグリーンシートの少なくとも配線パターンが形成される側に配置される収縮防止用グリーンシートを、マグネシウム、カルシウム、ストロンチウムから選択された1種以上の炭酸塩、または前記炭酸塩と酸化物、窒化物、炭化物から選択された1種以上との混合物により構成した。
請求項（抜粋）：
少なくとも一方の外表面に配線パターンが形成される1層以上のガラスセラミックよりなるグリーンシートの両側に、該ガラスセラミックグリーンシートの焼成温度では焼結しない収縮防止用のグリーンシートを積層し、加圧一体化した状態で上記ガラスセラミックグリーンシートを焼成し、次いで未焼結の収縮防止用グリーンシートを除去するようにしたセラミック基板の製造方法において、上記ガラスセラミックグリーンシートの少なくとも配線パターンが形成される側に配置される収縮防止用のグリーンシートを、マグネシウム、カルシウム、ストロンチウムから選択された1種以上の炭酸塩、あるいは前記炭酸塩と酸化物、窒化物、炭化物から選択された1種以上との混合物により構成したことを特徴とするセラミック基板の製造方法。
IPC (2件)：
H01L 23/12
, H05K 1/03 610
H01L 23/12 D
, H05K 1/03 610 B
, H01L 23/12 N
