特許

J-GLOBAL ID：200903062934534396

プラズマを提供するための方法及び装置

発明者： ロイネ ヨハネス ,  アシカイネン マッティ
出願人/特許権者： ヴァルティオン テクニリネン テュトキムスケスクス
代理人 (1件)： 中村 稔 (外6名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-514746
公開番号（公開出願番号）：特表平11-513529
出願日： 1996年10月10日
公開日（公表日）： 1999年11月16日
要約：

【要約】本発明は、プラズマを形成するためのプロシジャー及び装置に関する。形成されるプラズマを、例えば、導管のガスのような様々なガスに含まれる元素の濃度を調べるのに使用することができる。従来技術に比べて、本発明には、装置の効率が良く、かつ、装置が継続的に動作するという利点がある。更に、本発明の装置により、非常に安定した、制御可能なプラズマを実現できる。

請求項（抜粋）：

磁場がプラズマ形成領域に設定され、火花の放電がプラズマ形成領域につくられ、ガス流がプラズマ形成領域の磁場に通されるようなプラズマを形成するためのプロシジャーであり、 プラズマが、火花の放電によってプラズマ形成領域に形成され、磁場及び放電によって維持されることを特徴とするプロシジャー。

IPC (5件)：

H05H 1/24 ,  G01N 21/68 ,  G01N 21/71 ,  H05H 1/40 ,  H05H 1/50

FI (5件)：

H05H 1/24 ,  G01N 21/68 ,  G01N 21/71 ,  H05H 1/40 ,  H05H 1/50