特許
J-GLOBAL ID：200903062943550949
放射線固体検出器
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
柳田 征史 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-163534
公開番号（公開出願番号）：特開2000-352586
出願日： 1999年06月10日
公開日（公表日）： 2000年12月19日
要約：
【要約】【課題】 放射線固体検出器において、電荷注入阻止層の膜厚のむらに起因する静電潜像の形成および読取りにおけるノイズを低減し、常に良好な画像を得るようにする。【解決手段】 放射線固体検出器10において、ガラス基板17の表面粗さ(Rmax)を4nm以下あるいは電荷注入阻止層12,15の平均厚さの1/10以下とする。
請求項（抜粋）：
基板上に、読取光を透過する第1の電極層と、前記読取光の照射によって導電性を呈する第1の光導電体層と、放射線の照射によって導電性を呈する第2の光導電体層と、前記放射線を透過する第2の電極層とをこの順に積層し、前記第2の電極層と前記第2の光導電体層との間および前記第1の光導電体層と前記第1の電極層との間の少なくともいずれか一方に、正または負の電荷の通過を阻止する電荷注入阻止層を備えてなる放射線固体検出器において、前記基板の表面粗さ(Rmax)が4nm以下であることを特徴とする放射線固体検出器。
IPC (3件)：
G01T 1/24
, G03B 42/02
, H04N 1/028
G01T 1/24
, G03B 42/02 Z
, H04N 1/028 Z
