特許
J-GLOBAL ID：200903062945337312

サセプタ装置

発明者：
小坂井 守

小坂井 守 について


出願人/特許権者：
住友大阪セメント株式会社

住友大阪セメント株式会社 について


代理人 (7件)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  渡邊 隆 ,  青山 正和 ,  鈴木 三義 ,  西 和哉 ,  村山 靖彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-223995
公開番号（公開出願番号）：特開2006-049352
出願日： 2004年07月30日
公開日（公表日）： 2006年02月16日
要約：
【課題】 サセプタ装置と板状試料との間の熱伝導特性が大きく変化することがなく、パーティクルの発生も少なく、板状試料の裏面へのパーティクルの付着を防止することが可能であり、さらに、サセプタ装置を静電チャックとして用いた場合においても、静電吸着力が変動したり、電圧印加中止後の離脱性が変化することもないサセプタ装置を提供することを目的とする。【解決手段】 本発明のサセプタ装置は、基体の一部を構成する誘電体板21の上面に複数の突起部31を設け、これらの突起部31それぞれの頂面31aに複数の微小突起部32を設け、これら微小突起部32それぞれの頂面32aを板状試料Wを載置する載置面としたことを特徴とする。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
基体の一主面に複数の突起部を設け、これらの突起部それぞれの頂面に複数の微小突起部を設け、これら微小突起部それぞれの頂面を板状試料を載置する載置面としたことを特徴とするサセプタ装置。
IPC (3件)：
H01L 21/31 ,  C23C 16/458 ,  H01L 21/683
FI (3件)：
H01L21/31 C ,  C23C16/458 ,  H01L21/68 R
Fターム (28件)：
4K030AA06 ,  4K030AA14 ,  4K030BA44 ,  4K030CA04 ,  4K030FA03 ,  4K030GA02 ,  4K030KA45 ,  4K030LA15 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031HA03 ,  5F031HA08 ,  5F031HA16 ,  5F031HA38 ,  5F031MA28 ,  5F031MA29 ,  5F031MA31 ,  5F031MA32 ,  5F031PA24 ,  5F031PA26 ,  5F045AA08 ,  5F045AB32 ,  5F045AC01 ,  5F045AC11 ,  5F045BB01 ,  5F045DP03 ,  5F045EK09 ,  5F045EM05
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • 特許第3176305号公報
審査官引用 (6件)
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