特許

J-GLOBAL ID：200903062950699036

ECRプラズマ発生装置

発明者： 石井 成行 ,  砂川 道夫 ,  谷 二三夫
出願人/特許権者： 新明和工業株式会社
代理人 (1件)： 吉田 茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-056188
公開番号（公開出願番号）：特開平7-258855
出願日： 1994年03月25日
公開日（公表日）： 1995年10月09日
要約：

【要約】【目的】 ECR条件が均一に成立する、高電力密度のシート状プラズマを発生させる。【構成】 大気中に置かれた導波管2の一方のE面41に穴11をその長手方向に複数設け、H面42、43にN極同士を対向させつつ永久磁石5A、5Bを設ける。更に、E面41に、その長手方向に延びた誘電体レンズ7を設ける。永久磁石5A、5Bの対は、真空室4内に、長手方向に一様でE面41に垂直な方向に勾配を持つカスプ磁場を形成する。穴11より、長手方向に一様な電力で、しかも指向性がより一層狭いマイクロ波がシート状に放射され、その後、マイクロ波は、導波路として働く誘電体レンズ7により、ECR条件が成立する磁場強度位置へ収束される。その結果、垂直方向及び長手方向に一様な高電力密度のシート状プラズマが真空室4内に発生する。

請求項（抜粋）：

永久磁石が真空室内に作る磁場内に、その断面が長方形の導波管及び前記真空室と大気とを遮断する誘電体窓を介してマイクロ波を入射してECR吸収を起こし、これにより前記真空室内にプラズマを発生させる装置において、前記導波管のE面の一方を前記誘電体窓に対向して配設し且つ当該一方のE面に開口を設ける一方、前記導波管のH面のそれぞれに前記永久磁石をその同一磁極同士を対向させて設けたことを特徴とする、ECRプラズマ発生装置。

IPC (5件)：

C23C 16/50 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/3065 ,  H01L 21/31 ,  H05H 1/18

FI (2件)：

H01L 21/302 B ,  H01L 21/31 C