特許

J-GLOBAL ID：200903062951784061

検査治具

発明者： 星野 昭裕
出願人/特許権者： 凸版印刷株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-296536
公開番号（公開出願番号）：特開2000-121671
出願日： 1998年10月19日
公開日（公表日）： 2000年04月28日
要約：

【要約】【課題】 検査治具を使って押圧導通検査を行う際被検査体のソルダーボールと検査電極との間で多少(30μm前後)の位置ズレを起こしても、ソルダーボールが変形を起こさないで、確実な電気的接続が得られる検査治具を提供することを目的とする。【解決手段】 絶縁基板13に円錐筒状の検査電極15及びパッド電極17が形成された検査電極基板10と、絶縁基板21に配線層23及び低摩擦接触層25が形成された配線層基板20とを作製し、検査電極基板10と配線層基板20を接着層41にて固定した一体化構造の検査治具100を得る。

請求項（抜粋）：

絶縁基板の片面に検査電極が、もう一方の面に配線層が形成されており、前記検査電極と前記配線層は電気的に接続されてなる検査治具において、前記検査電極及び前記配線層はそれぞれ検査電極基板と配線層基板に別々に形成されており、前記検査電極基板と前記配線層基板とを接着層を介して固定することにより一体構造にしたことを特徴とする検査治具。

IPC (6件)：

G01R 1/073 ,  G01N 27/20 ,  G01R 31/26 ,  H01L 21/66 ,  H05K 3/00 ,  H01L 23/12

FI (6件)：

G01R 1/073 F ,  G01N 27/20 Z ,  G01R 31/26 J ,  H01L 21/66 D ,  H05K 3/00 V ,  H01L 23/12 L

Fターム (25件)：

2G003AA00 ,  2G003AG03 ,  2G003AG08 ,  2G003AG12 ,  2G003AH07 ,  2G011AA16 ,  2G011AA21 ,  2G011AB06 ,  2G011AB07 ,  2G011AB08 ,  2G011AC14 ,  2G011AE01 ,  2G011AE03 ,  2G060AA09 ,  2G060AE40 ,  2G060AF07 ,  2G060AG06 ,  2G060AG08 ,  2G060AG11 ,  2G060EB09 ,  2G060GA01 ,  4M106AA04 ,  4M106BA14 ,  4M106CA56 ,  4M106DJ34

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開平2-207543