特許

J-GLOBAL ID：200903062951870260

イオン散乱分析装置

発明者： 林 茂樹
出願人/特許権者： 株式会社島津製作所
代理人 (1件)： 縣 浩介
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-103681
公開番号（公開出願番号）：特開平5-074410
出願日： 1991年02月22日
公開日（公表日）： 1993年03月26日
要約：

【要約】【目的】飛行時間型エネルギー分析器を用いたイオン散乱分析装置で、試料を照射するイオンビームから目的のイオン以外のイオン種を除去して測定のS/N比を向上させる。【構成】試料を照射するイオンビームのチョッピング電場に直交させて定常磁場を形成し、目的外のイオン種を除去した。

請求項（抜粋）：

飛行時間型エネルギー分析器を用いたイオン散乱分析装置において、試料を照射するイオンビームをチョッピングするチョッピング電極が形成する電場と直交させて定常磁場を形成する手段を設け、試料を照射するイオンビームから目的以外のイオン種を反らせるようにしたことを特徴とするイオン散乱分析装置。