特許
J-GLOBAL ID：200903062952935047
石英坩堝及び該石英坩堝の評価方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井内 龍二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-166525
公開番号（公開出願番号）：特開平10-338595
出願日： 1997年06月09日
公開日（公表日）： 1998年12月22日
要約：
【要約】【課題】 従来においては、単結晶の引き上げ中に石英坩堝から放出される結晶性シリカに起因する単結晶の有転位化と、石英坩堝の特性との間にはっきりとした相関関係が見い出されておらず、どのような特性を有する石英坩堝を使用すれば単結晶の有転位化を低減することができるかがはっきりと把握されていなかった。【解決手段】 高い歩留まりで単結晶を引き上げるために、単結晶の引き上げ終了後に溶融液の凝固体13aとなっている部分と接している内表面111a近傍の結晶化率が10%以下となる石英坩堝11aを使用して単結晶の引き上げを行う。
請求項（抜粋）：
単結晶の引き上げに用いられる非晶質の石英坩堝であって、単結晶の引き上げ終了時に溶融液と接している内表面近傍の結晶化率が10%以下となるものであることを特徴とする石英坩堝。
IPC (5件)：
C30B 15/10
, C03B 20/00
, C30B 29/06 502
, G01N 23/04
, G01N 23/20
C30B 15/10
, C03B 20/00
, C30B 29/06 502 B
, G01N 23/04
, G01N 23/20
