露光方法及びそれに用いる露光装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-157209
公開番号（公開出願番号）：特開平8-328260
出願日： 1995年05月31日
公開日（公表日）： 1996年12月13日
要約：

【要約】【目的】機械加工物に対して、位置精度の高い露光が行なわれるとともに、その露光が容易に、さらには迅速に行われるようにした露光方法及びそれに用いる露光装置を提供する。【構成】露光方法においては、金属材料よりなり機械加工したワーク部材1にフォトレジストを塗布形成した後、フィルムシート状の金属マスク6を用いてフォトレジストをパターン形状に露光形成する。露光装置においては、ワーク部材1を配するセット部材2と、セット部材2を保持するセット保持部材3と、金属マスク6を保持するマスク保持部材7及び固定枠部材8とを備える。

請求項（抜粋）：

金属材料よりなり機械加工したワーク部材の所定の平坦面をエッチング加工する前処理として行う露光方法において、前記ワーク部材にフォトレジストを塗布形成した後、前記ワーク部材を露光装置の所定部材に配するとともに、透光部と遮光部とによりパターンを形成したフィルムシート状の金属マスクを前記フォトレジストと当接するように前記所定部材に配して、前記金属マスクの透光部より前記フォトレジストに光を付与し該フォトレジストを前記パターン形状に露光形成するようにしたことを特徴とする露光方法。

IPC (4件)：

G03F 7/20 , B23Q 3/00 , C23F 1/00 102 , G03F 9/00

FI (4件)：

G03F 7/20 , B23Q 3/00 , C23F 1/00 102 , G03F 9/00

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