特許
J-GLOBAL ID：200903062954578969
静電チャック
発明者：
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出願人/特許権者：
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公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-100701
公開番号（公開出願番号）：特開平8-316299
出願日： 1996年03月14日
公開日（公表日）： 1996年11月29日
要約：
【要約】【目的】 誘電体セラミック面の冷却特性に優れ併せてプラズマ放電の電極面周囲への回り込みを防止できる静電チャックの構造に関わる。【構成】 誘電体セラミック板の電極面が台座の上に直接あるいは間接的にロー付けされた構造の静電チャックにおいて、該ロー付部のロー材層が介在する部分の隙間を該セラミック板の周囲に一体的に取り付けた絶縁体リングで秘蔽してなることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
静電吸着機構部が台座の上に直接あるいは間接的にロー付接合された構造の静電チャックにおいて、該接合部側面の金属露出部を該静電吸着機構部周囲に一体的に取り付けた絶縁体リングで包囲、遮蔽してなることを特徴とする静電チャック。
IPC (5件)：
H01L 21/68
, B23Q 3/15
, C23C 14/50
, H01L 21/205
, H01L 21/3065
H01L 21/68 R
, B23Q 3/15 D
, C23C 14/50 D
, H01L 21/205
, H01L 21/302 B
