紫外線顕微鏡

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-114922
公開番号（公開出願番号）：特開平5-127096
出願日： 1992年05月07日
公開日（公表日）： 1993年05月25日
要約：

【要約】【目的】被検体の紫外画像とカラー画像とを同時に表示できる紫外線顕微鏡を提供する。【構成】水銀ランプ18からの光は、照明レンズ系20、対物レンズ系22を通じて半導体デバイス28へ入射される。デバイス28で反射した光の結像光路は、ダイクロイックミラー30aにより紫外線の光路と可視光の光路とに分離される。ここで紫外線は紫外線用CCDカメラ34aへ導かれる。紫外線用CCDカメラ34aは、モノクローム画像信号を画像処理装置36aを通じてディスプレィ38aへ与える。一方、可視光はカラーCCDカメラ34bへ導かれる。カラーCCDカメラ34bは、カラー画像信号を画像処理装置36bを通じてディスプレィ38bへ与える。従って半導体デバイス28の高解像力、高倍率の紫外画像と、半導体デバイス28の色を視認できるカラー画像とを同時に表示できる。

請求項（抜粋）：

被検体を保持すべきステージと、可視域から近紫外域の波長域を有する光を出射する光源と、光源からの光により、ステージに保持された被検体を照明する照明レンズ系と、被検体からの光により被検体の拡大光学像を結像させるべき対物レンズ系を有する像形成レンズ系とを備え、そのうちの少なくとも照明レンズ系と対物レンズ系とは、少なくとも可視域から近紫外域に亘る波長域の光を透過可能な光学材料から形成され、且つその波長域の光に対して像位置の色収差及び倍率の色収差が補正されてなる光学レンズ系と、被検体の少なくとも紫外像を観察する第1の観察手段と、被検体の少なくとも可視像を観察する第2の観察手段と、を備える紫外線顕微鏡。

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開昭64-062609
特開昭50-068350
特開平1-308531

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