特許
J-GLOBAL ID：200903062961350477
クリーンルーム間仕切り用フィルム又はシート
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-246047
公開番号（公開出願番号）：特開平11-058630
出願日： 1997年08月27日
公開日（公表日）： 1999年03月02日
要約：
【要約】【課題】 難燃性、帯電防止性等のクリーンルーム間仕切り用フィルムに要求される諸物性を損なうことなく、アウトガス(フィルムから放出される気体成分)に起因する、シリコンウエハー等の汚染等の問題を解決する。【解決手段】 リン酸エステル系可塑剤、ジブチルフタレート、トリフェニルリン酸エステルを実質的に含まない塩化ビニル系樹脂組成物に、五酸化アンチモンを添加することにより難燃性を付与し、かつ、得られたフィルム表面に導電性材料を含む塗料を塗布するか、導電性可塑剤を使用することにより帯電防止性を付与する。
請求項（抜粋）：
塩化ビニル系樹脂100重量部当たり、リン酸エステル系可塑剤及びジブチルフタレートは実質的に含まない可塑剤を30〜60重量部、五酸化アンチモンを2〜15重量部、トリフェニルリン酸エステルを実質的に含まない安定剤を0.5〜4重量部添加してなる塩化ビニル系樹脂組成物を成形して得られる透明なフィルム又はシートの片面又は両面に、導電性材料を含む塗料を任意の連続模様状に塗布してなるクリーンルーム間仕切り用フィルム又はシート。
IPC (4件)：
B32B 27/30 101
, B32B 27/18
, C08K 5/12
, C08L 27/06
B32B 27/30 101
, B32B 27/18 J
, C08K 5/12
, C08L 27/06
