特許

J-GLOBAL ID：200903062963934611

ポリイミド前駆体樹脂組成物及びパターン製造法

発明者： 瀧澤 寿夫
出願人/特許権者： 日立化成デュポンマイクロシステムズ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-205532
公開番号（公開出願番号）：特開2001-031864
出願日： 1999年07月21日
公開日（公表日）： 2001年02月06日
要約：

【要約】【課題】 ポリイミド樹脂膜パターンエッジ部の突起をドライエッチング等の方法によらずになくすことのできるポリイミド前駆体樹脂組成物及びパターンの製造法を提供する。【解決手段】 (A)アルカリ水溶液に可溶性のポリイミド前駆体樹脂及び(B)一般式(I)【化1】(式中、Xは単結合又は2価の基を示し、R1及びR2は各々独立にアルキル基を示し、a及びbは各々独立に0〜3の整数を示す)で示される化合物を含有してなるポリイミド前駆体樹脂組成物並びに基板上に前記ポリイミド前駆体樹脂組成物を塗布・硬化し、その上にポジ型レジストをマスク材として、該ポリイミド前駆体樹脂組成物をアルカリ水溶液によってウェツトエッチング加工をした後、ポジレジストを剥離し、さらに熱処理することを特徴とするポリイミドパターンの製造法。

請求項（抜粋）：

(A)アルカリ水溶液に可溶性のポリイミド前駆体樹脂及び(B)一般式(I)【化1】(式中、Xは単結合又は2価の基を示し、R1及びR2は各々独立にアルキル基を示し、a及びbは各々独立に0〜3の整数を示す)で示される化合物を含有してなるポリイミド前駆体樹脂組成物。

IPC (3件)：

C08L 79/08 ,  C08K 5/13 ,  G03F 7/027 514

FI (3件)：

C08L 79/08 ,  C08K 5/13 ,  G03F 7/027 514

Fターム (17件)：

2H025AA00 ,  2H025AB15 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025CC20 ,  2H025DA26 ,  2H025FA03 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  2H025FA40 ,  2H025FA47 ,  4J002CM041 ,  4J002EJ036 ,  4J002FD206 ,  4J002GP00