薄板形状物を加工用ホルダに移し替える方法

発明者： , , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小川勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-022954
公開番号（公開出願番号）：特開平11-219998
出願日： 1998年02月04日
公開日（公表日）： 1999年08月10日
要約：

【要約】【課題】ウエハ平坦化加工装置等に於いて、乗載台2と加工用ホルダ3間に若干の相互中心ズレがあっても、乗載台上のウエハ1を加工用ホルダ3に確実に移し替える方法を得る。【解決手段】求芯作用である加工用ホルダ3側のコントロールリング7に対するウエハ1のセンタリングを行う事と、更に引き続き、コントロールリング7内に配接した保持材(層)8の表面と、ウエハ1との押付け密着(水貼り作用)によるウエハ保持を行うことにある。

請求項（抜粋）：

移し替え対照の薄板形状物と、略同形寸法の乗載面を有する乗載台の上面から微量の流体を流出させることにより該薄板形状物を浮上させて、その表面張力による概略芯合せを行い、且つ、乗載台の外側から薄板形状物を包むが如くに中心に向かって連動する複数個のフィンガが、コントロールリングの外形に接して、その動きが止まるようにした機構的手段によって創成される幾何学的中心に、該薄板形状物が芯合せされることを特徴とした薄板形状物を加工用ホルダに移し替え方法。

前のページに戻る