特許

J-GLOBAL ID：200903062976363486

試料保持装置および露光装置

発明者： 佐藤 剛
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-323621
公開番号（公開出願番号）：特開平11-162809
出願日： 1997年11月25日
公開日（公表日）： 1999年06月18日
要約：

【要約】【課題】 ステップ・アンド・スキャン方式の露光装置において、レチクルステージの移動速度を高速化すると、バキュームパッドのみではレチクルを保持することが困難になり、レチクルが所定の位置からずれてしまう恐れがある。【解決手段】 レチクルRに対してレチクルステージ10の移動方向前方および後方にそれぞれ配置され、レチクルステージ10上に軸支されるとともに回転中心Oの両側にウエイト部2、3を有し一方のウエイト部2よりも質量の小さい他方のウエイト部3をレチクルRに当接させた状態に配設されるバランスウエイト1と、他方のウエイト部3を回転させてレチクルRに押圧させる引っ張りばね4とを備える試料保持装置をレチクルRの保持手段として走査露光装置に採用することにより、レチクルRがより確実に固定保持されるので、レチクルステージ10の移動速度を高速化してスループットを向上させることができる。

請求項（抜粋）：

少なくとも一直線方向に移動可能なステージに載置される試料を所定の位置に保持する試料保持装置であって、前記試料に対して前記ステージの移動方向前方および後方にそれぞれ配置され、ステージ上に回転自在に軸支されるとともに回転中心の両側にウエイト部を有し一方のウエイト部よりも質量の小さい他方のウエイト部を試料に当接させた状態に配設されるバランスウエイトと、他方のウエイト部を回転させて試料に押圧させる付勢部とを備えることを特徴とする試料保持装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/68

FI (6件)：

H01L 21/30 503 D ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/68 K ,  H01L 21/30 515 F ,  H01L 21/30 516 B ,  H01L 21/30 518