特許
J-GLOBAL ID：200903062976541279
ゾルゲル法による薄膜の作製方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
内田 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-148611
公開番号（公開出願番号）：特開平5-000805
出願日： 1991年06月20日
公開日（公表日）： 1993年01月08日
要約：
【要約】【目的】 本発明はゾルゲル法による薄膜の作製方法に関する。【構成】 本発明は、金属アルコキシドに、水、アルコール、酸を加えることにより得られる加水分解溶液を基板上に付着せしめて薄膜を作成する方法において、予め-150°C〜10°Cの温度範囲に冷却しておいた加水分解溶液を、該加水分解溶液の温度と同じ温度またはより低温に保持した基板上に付着せしめることを特徴とし、従来より厚い膜を均一に得ることができる。上記加水分解溶液中に機械的、化学的、電磁気的を機能を有する物質を添加しておくことにより薄膜中に大量添加できるので、機能性を有するコーティング膜の製造に利用して非常に有利である。
請求項（抜粋）：
金属アルコキシドに、水、アルコール、酸を加えることにより得られる加水分解溶液を基板上に付着せしめて薄膜を作製する方法において、予め-150°C〜10°Cの温度範囲に冷却しておいた加水分解溶液を、該加水分解溶液の温度と同じ温度またはより低温に保持した基板上に付着せしめることを特徴とする薄膜の作製方法。
IPC (5件)：
C01B 13/32
, B01J 19/00
, C01B 33/12
, C03B 8/02
, C03C 17/25
