特許
J-GLOBAL ID:200903062977012067

薄膜状炭素材の製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 成瀬 勝夫 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-225384
公開番号(公開出願番号):特開平5-043213
出願日: 1991年08月12日
公開日(公表日): 1993年02月23日
要約:
【要約】【目的】 薄膜電極、発熱体、耐熱シールなどに使用される柔軟でかつ弾力性を持ち、良好な表面平滑性と均質組織を備えた薄膜状炭素材を製造することを目的とする。【構成】 フルオレン骨格を有するポリイミド化合物のフィルム状及びシート状の成形体を表面が平滑な黒鉛質の押え板に挟み込み、この状態で常圧もしくは熱間加圧機で焼成炭化し、黒鉛化する。【効果】 本発明によれば、表面平滑性と均質組織を有する薄膜のフィルム状もしくはシート状の炭素材を工業的に製造できる。従って、電気二重層キャパシター集電体、燃料電池用セパレーター、イオンプラズマエッチング用電極等に有用である。
請求項(抜粋):
フルオレン骨格を有する芳香族ポリイミドからなる厚さ5μm〜10mmのフィルム状もしくはシート状の成形体を表面が平滑な黒鉛質の押え板に挟み込んだ状態で、非酸化性雰囲気中で500〜800°Cの範囲で焼成炭化した後、さらに2,200〜3,000°Cで黒鉛化することを特徴とする薄膜状炭素材の製造方法。

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