特許

J-GLOBAL ID：200903062978082247

マイクロデバイス

発明者： 冨田 勝彦
出願人/特許権者： 株式会社堀場製作所
代理人 (1件)： 藤本 英夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-356432
公開番号（公開出願番号）：特開2000-179729
出願日： 1998年12月15日
公開日（公表日）： 2000年06月27日
要約：

【要約】【課題】 連続動作ではなく、不定期またはランダムに動作することができ、μL〜数10μLオーダといった微量の液体や気体の流れを推進したり遮断したり開放することのできるマイクロデバイスを提供すること。【解決手段】 基板1,2に形成された空間8内に電気収縮性の高分子ゲル13を設け、この高分子ゲル13に直流電圧を印加して高分子ゲル13を収縮させることにより、高分子ゲル13と空間8周囲の壁面との間に隙間14を形成して、この隙間13内に微量の流体15を導入し、その後、前記電圧印加を解除して高分子ゲル13を膨張させることにより、前記隙間13を閉じ、隙間13内の流体15を排出できるようにした。

請求項（抜粋）：

基板に形成された空間内に電気収縮性の高分子ゲルを設け、この高分子ゲルに直流電圧を印加して高分子ゲルを収縮させることにより、高分子ゲルと空間周囲の壁面との間に隙間を形成して、この隙間内に微量の流体を導入し、その後、前記電圧印加を解除して高分子ゲルを復元させることにより、前記隙間を閉じ、隙間内の流体を排出できるようにしたことを特徴とするマイクロデバイス。

Fターム (5件)：

3H062CC04 ,  3H062DD01 ,  3H062FF41 ,  3H062HH02 ,  3H062HH03