特許

J-GLOBAL ID：200903062985478997

半導体製造装置の搬送装置

発明者： 橘内 浩之 ,  高橋 主人 ,  妻木 伸夫 ,  時末 裕允
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 高田 幸彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-114580
公開番号（公開出願番号）：特開平5-315429
出願日： 1992年05月07日
公開日（公表日）： 1993年11月26日
要約：

【要約】【構成】搬送路に沿って移動する搬送台4のウエハ保持部を、電圧供給を行うコンデンサ15と切り替えスイッチ14を備えた静電チャックの一部で構成し、各搬送台停止位置2にコンデンサに給電する電圧発生装置を設置し、静電チャックの給電,除電を行う。【効果】長い搬送路内を電力線を引き回すようなことの無い、使い勝手の良いウエハ搬送装置が得られる。

請求項（抜粋）：

複数の製造装置間の試料搬送装置の搬送路に沿って導体または半導体の対象物が積載された搬送台が案内移動される搬送装置において、前記搬送台は、対象物が保持される保持面を有する誘電体、前記誘電体の前記保持面と反対面に設けられた電極,コンデンサ,切り替えスイッチからなる静電吸着装置の一部であって、前記搬送路中の前記搬送台の停止位置には、前記コンデンサに給電する電圧発生装置が設置され、前記各搬送台の停止位置で給電および除電を行うことを特徴とする半導体製造装置の搬送装置。