シリコン球の製造方法および装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：野田雅士 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-207938
公開番号（公開出願番号）：特開2000-042890
出願日： 1998年07月23日
公開日（公表日）： 2000年02月15日
要約：

【要約】【課題】高純度のシリコン球を安価に製造する。【解決手段】サイコロ状のシリコン素材Wを、治具3のポケット4内に収容し、砥粒を有する回転定盤2の回転により球形にバレル加工する。シリコン素材Wは、板状のシリコンウェハーから切り出したものとする。定盤は、回転定盤2に代えてベルト定盤を用いても良い。

請求項（抜粋）：

シリコン素材を治具のポケット内に収容し、砥粒を有する定盤の運動により、前記ポケット内のシリコン素材を球形にバレル加工するシリコン球の製造方法。

IPC (4件)：

B24B 11/02 , B24B 37/02 , H01L 21/02 , H01L 21/304 621

FI (4件)：

B24B 11/02 , B24B 37/02 A , H01L 21/02 B , H01L 21/304 621 Z

Fターム (16件)：

3C049AA05 , 3C049AA07 , 3C049AB08 , 3C049AB09 , 3C049CA01 , 3C049CA04 , 3C049CB03 , 3C049CB05 , 3C058AA05 , 3C058AA07 , 3C058AB08 , 3C058AB09 , 3C058CA01 , 3C058CA04 , 3C058CB03 , 3C058CB05

引用特許：

審査官引用 (12件)

グリーンボールの加工方法および加工装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-140845 出願人：エヌティエヌ株式会社
特開平1-232987
特公昭47-000478

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