特許

J-GLOBAL ID：200903062986398342

異物検出装置

発明者： 中澤 一行
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-006592
公開番号（公開出願番号）：特開平5-188004
出願日： 1992年01月17日
公開日（公表日）： 1993年07月27日
要約：

【要約】【目的】本発明は、光透過性でかつパターンが形成されている被検査体の表面上に付着している塵埃などの異物のみを高速にかつ高精度に検出でき、かつその構成を簡単にする。【構成】光照射光学系(2) から光を被検査体(1) に対して所定の角度で照射する。この光は被検査体(1) に照射されて反射し、この状態の入射光と正反射光との各光路により形成される内角側に集光光学系(6) が配置される。これにより、被検査体(1) の表面上に異物(11)があると、この異物(11)により生じた散乱光が集光光学系(6) により集光されて受光器(8) に入射する。この受光器(8) は受光量に応じた電気信号を出力し、判定手段(9) はこの電気信号を受けて受光量の大きさから異物(11)を判定する。

請求項（抜粋）：

光透過性でかつ表面にパターンが形成された被検査体に対して光を所定の角度で照射する光照射光学系と、この光照射光学系から前記被検査体に入射する光と前記被検査体からの正反射光との各光路により形成される内角側に配置され、前記被検査体の表面上により生じる散乱光を検出する集光光学系と、この集光光学系により集光された光を受光してその受光量に応じた電気信号を出力する受光器と、この受光器から出力される電気信号を受けて前記受光量の大きさから前記異物を判定する判定手段とを具備したことを特徴とする異物検出装置。