特許
J-GLOBAL ID：200903062986555839
レ-ザ走査顕微鏡を用いた寸法測定方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-223673
公開番号（公開出願番号）：特開平10-062128
出願日： 1996年08月26日
公開日（公表日）： 1998年03月06日
要約：
【要約】【課題】 基板部に対して、断面形状が段差と一定の斜面を持つ微細パタ-ンにおいて、この斜面幅の影響を受けずに微細パタ-ンの上面と下面の寸法を測定すること。【解決手段】 レ-ザ光を対物レンズで集光して被測定物上を走査し、反射光強度信号波形を検出し、これから微分強度信号波形を求める。微分強度信号波形には4つの極値があらわれる。このうち内側2つの極値は微細パタ-ンの上面2つのエッジに対応し、外側2つの極値は微細パターンの下面2つのエッジに対応する。まず内側2つの極値の強度差が最大になるようにレ-ザ光の焦点を微細パタ-ンの上面に合わせて、上面2つのエッジを検出して寸法を測定する。次に外側2つの極値の強度差が最大になるようにレ-ザ光の焦点を微細パタ-ンの下面に合わせて、下面2つのエッジを検出して寸法を測定する。
請求項（抜粋）：
レ-ザ光源から放射されたレ-ザ光をレ-ザ光走査手段により、第1の板状部材上の長手方向に形成されている断面が略台形形状である第2の板状部材上に照射して走査し、該第2の板状部材からの反射光強度信号波形を検出し、該反射光強度信号波形から微分強度信号波形を検出して、前記第2の板状部材の外形寸法を測定するレ-ザ走査顕微鏡を用いた寸法測定方法において、前記微分強度信号波形は前記第2の板状部材の上面のエッジからの反射光に起因する2つの極値と前記第2の板状部材の下面のエッジからの反射光に起因する2つの極値の計4つの極値を持ち、該4つの極値のうち内側の2つの極値と外側の2つの極値は逆位相で、かつ該内側2つの極値の強度差が最大になるように前記第2の板状部材の上面に前記照射レ-ザ光の焦点位置を制御して前記第2の板状部材の上面の寸法を測定し、前記外側の2つの極値の強度差が最大になるように前記第2の板状部材の下面に前記照射レ-ザ光の焦点位置を制御して、前記第2の板状部材の下面の寸法を測定することを特徴とするレ-ザ走査顕微鏡を用いた寸法測定方法。
IPC (4件)：
G01B 11/02
, G01B 9/04
, G01B 11/24
, G02B 21/00
G01B 11/02 Z
, G01B 9/04
, G01B 11/24 F
, G02B 21/00
